在所有半導(dǎo)體設(shè)備里，光刻機(jī)確實(shí)是一個(gè)最有話題熱度的門類了。我之前從ASML、NIKON、CANON三家的官網(wǎng)上下載收錄了他們目前銷售的光刻機(jī)型號(hào)，并匯總做成表格供大家參考，讀者反饋不錯(cuò)。更有行業(yè)大佬寫文章時(shí)引用我的數(shù)據(jù)后更是給我的公眾號(hào)帶來一波巨大流量

當(dāng)然也有專業(yè)做設(shè)備貿(mào)易的人士提醒我：其實(shí)三家在歷史上推出過的光刻機(jī)型號(hào)遠(yuǎn)不止這些。只是因?yàn)椴糠中吞?hào)過于老舊，原廠已經(jīng)早已不銷售了，所以官網(wǎng)上也查不到相關(guān)信息而已。不過市面上這些設(shè)備還在作為二手貨被交易和使用，行業(yè)朋友對(duì)這些信息也有需求

說者無(wú)心，聽者有意。這就激發(fā)起了我的好奇心。于是有了進(jìn)一步收集數(shù)據(jù)的想法。而恰恰在這個(gè)時(shí)候，一些行業(yè)朋友也主動(dòng)給我提供了大量的資料 -- 在此特別感謝之前慷慨給我提供信息的行業(yè)朋友，人數(shù)較多，就不一一具名了

話不多說了，數(shù)據(jù)奉上。目前收集到的三家供應(yīng)商機(jī)臺(tái)型號(hào)數(shù)量共185種，基本涵蓋市面上絕大多數(shù)的三家供應(yīng)商光刻機(jī)型號(hào)。麻煩大家在參考的同時(shí)也繼續(xù)給我提供信息，幫我進(jìn)一步完善這個(gè)數(shù)據(jù)：

ASML：78種

NIKON：71種

CANON：36種

這個(gè)完整表格里其實(shí)還有各個(gè)設(shè)備型號(hào)的具體參數(shù)指標(biāo)，比如：焦深、放大倍率、視場(chǎng)尺寸、晶圓尺寸乃至推出市場(chǎng)的年份信息

不過由于版面有限，我只能截取部分信息做成以上簡(jiǎn)表供大家參考了

免責(zé)聲明：本文采摘自“半導(dǎo)體綜研”，本文僅代表作者個(gè)人觀點(diǎn)，不代表薩科微及行業(yè)觀點(diǎn)，只為轉(zhuǎn)載與分享，支持保護(hù)知識(shí)產(chǎn)權(quán)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明原出處及作者，如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們刪除。