聊聊高壓CMOS工藝

老虎說芯|Tiger Chip|

2024-09-19 10:36:47 732

高壓CMOS (HVCMOS) 是一種專門為處理高電壓應用而設計的CMOS技術。HVCMOS技術因其能夠處理高壓且同時具備低壓CMOS電路的所有優勢，使其在現代電子設備的各個領域中成為不可或缺的技術。無論是電源管理、汽車電子還是其他需要高壓處理的場景，HVCMOS都提供了一種高效、可靠的解決方案。

1. 基礎CMOS技術：

CMOS（互補金屬氧化物半導體）是一種用于制造集成電路的技術。它結合了n型和p型MOSFET（金屬氧化物半導體場效應晶體管）來實現低功耗的邏輯功能。

在標準CMOS中，工作電壓通常較低，通常在1V到5V之間，這對于大多數數字應用已經足夠。

2. 高電壓需求：

某些應用，例如驅動顯示面板、傳感器、汽車電子以及某些模擬電路，需要更高的電壓才能高效運行。

標準CMOS由于擊穿電壓的限制和可靠性問題，無法處理這些較高的電壓。

3. HVCMOS技術概述：

HVCMOS（High-Voltage CMOS是一種專門設計用于在更高電壓下運行的CMOS技術，通常電壓范圍在12V到40V甚至更高。這涉及對標準CMOS工藝的修改，以創建能夠承受更高電場而不發生擊穿的器件。

HVCMOS技術結合了傳統的低壓CMOS技術與能夠處理高電壓的電路設計，使得它能夠在集成電路中同時處理低壓和高壓信號。

4. HVCMOS與CMOS在技術上有什么不一樣的地方：

加厚的柵氧化層：為了處理更高的電壓，MOSFET的柵氧化層被加厚，從而提高了柵極的擊穿電壓。

更大的器件幾何尺寸：通過增加晶體管的尺寸，如溝道長度和寬度，降低電場強度，防止擊穿。

漏極工程：采用輕摻雜漏極（LDD）結構和其他漏極工程方法，均勻分布電場，減少熱載流子效應，提高可靠性。

隔離技術：高壓器件需要與低壓電路*隔離，以防止干擾和擊穿。這可能涉及使用深n阱、厚氧化隔離層或其他*隔離技術。

5. HVCMOS的應用：

電源管理IC：HVCMOS用于需要切換高電壓以控制電子設備中的電源的電源管理集成電路（PMIC），能夠處理從低壓控制信號到高壓輸出的轉換。

顯示驅動器：HVCMOS技術應用于LCD和OLED的顯示驅動器中，這些驅動器需要高電壓來驅動像素。比如，在驅動LED、LCD背光或控制電機的應用中，HVCMOS能夠提供必要的高壓驅動能力。

汽車電子：汽車系統，例如電動汽車中的系統，使用HVCMOS進行各種控制和電源分配應用。HVCMOS用于控制電動機、執行器和傳感器等設備，這些設備需要高壓驅動和控制。

模擬和混合信號電路：HVCMOS通常用于需要更高電壓以實現特定信號范圍的模擬電路中。

電信與網絡：HVCMOS在電信和網絡設備中用于處理較高電壓的信號，例如用于光纖通信的激光驅動器或模擬信號處理器。

醫療設備：在某些醫療設備中，需要HVCMOS技術來處理和驅動高電壓組件，例如X射線機或超聲波成像設備中的高壓部分。

6. HVCMOS的優勢

7. 技術需求的驅動因素

設備小型化：隨著現代電子設備越來越小型化，需要將更多功能集成到更小的芯片上。HVCMOS技術允許在同一芯片上集成高壓和低壓電路，有助于實現這一目標。

高效能：在電力電子和電源管理中，越來越多的應用需要高效能的高壓處理能力，HVCMOS通過提供高效的電壓轉換和管理，滿足這些需求。

安全性和可靠性：特別是在汽車和醫療領域，設備的安全性和可靠性至關重要。HVCMOS技術能夠在高電壓環境下保持穩定運行，這使得它在這些關鍵領域得以廣泛應用。

8. HVCMOS的挑戰：

可靠性：管理在高電壓下長時間運行的器件的可靠性是一個挑戰，需要仔細的設計和測試。

工藝復雜性：HVCMOS所需的工藝修改增加了制造的復雜性和成本，與標準CMOS相比更為復雜。

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